半导体高低温测试液冷机实用案例

　　近年来，中国半导体产业持续发展，成为我国经济转型升级所需关键产业之一。半导体技术被认为是信息时代的基础，发展半导体产业也成为了提升中国制造业的核心竞争力和技术水平的重要手段之一。

　　中国半导体产业起步较晚，但却发展迅速，半导体材料国产替代越来越频繁，随着国产研发投入与创新不断加强，半导体性能试验与测试需求与日俱增，而工业冷水机，比如高低温测试液冷机等将扮演温控方面的重要角色，以保证实验结果的准确性和可重复性。

　　应用场景

　　半导体高低温测试系统是一种专门用于评估半导体设备和元件在极端温度(高温和低温)环境下的性能和可靠性的测试设备。其由制冷系统、 储冷箱、水箱、循环泵、控制系统(流量计、电动调节阀、压力变送器、传感器)等组成。

　　该测试系统中的制冷系统则由高低温测试液冷机担当，也是该测试系统的核心部件。

　　企业需求

　　公司是一家专业从事半导体材料研发及生产的高科技企业，致力于为全球提供顶尖的半导体元器件及解决方案，涵盖了半导体集成电路、晶体、芯片及检测中心等众多领域。

　　因科研基地新增半导体测试设备，客户通过行业渠道找到我们，要求定制半导体测试专用冷水机，用于测试设备温度循环。

　　解决方案

　　技术人员通过对整个测试系统测试逻辑、冷却水量、温控范围、特殊要求等信息的分析，为客户量身定制了半导体专用高低温测试液冷机组。

　　经过安装调试，试运行后，与整套测试系统完美融合，保证了设备稳定性和测试结果准确性，各项指标均完美达到定制要求。

　　参数一览

　　温度控制范围-30℃～90℃

　　温度控制精度±0.5℃

　　流量控制范围1～20L/min

　　流量控制精度±0.2L/min

　　升温降温速率 平均3℃/Min

　　压力测量范围0~300kpa

　　压力测量精度±5Kpa

　　以下是液冷机安装调试时高低温测试系统运行概况。(为保护客户测试数据，数值已作模糊处理)

　　产品特点

　　半导体测试用液冷机主要用于半导体测试中的温度测试模拟，测试温度范围广，高低温升降速率快，适合各种测试要求。

　　数据控制精准

　　温度、压力、流量精确控制，可连续性测试、高低温快速升降等多种模式供选择。

　　系统稳定可靠

　　核心部件选用国际知名品牌，具有性能稳定、高效节能、噪音低、维护方便等优点，24小时连续运转设计，减少测试误差和停机时间。

　　先进控制技术

　　采用PLC级电脑控制系统，实现全自动智能化控制，系统水温，水流，故障信号报警直接显示。

　　多重安全防护

　　超温保护 、电流保护、水流报警、水位报警、压力报警、缺项保护、逆相保护、电机过载等。

　　定制内容广泛

　　可根据客户要求定制温度、防爆型或隔离防爆型等。

　　冷机针对半导体行业非标定制机组，可应用于多晶硅原料生产、半导体芯片制造封装、晶圆制造、研发测试等。

　　另外，还广泛应用于研究院、大专院校、航空航天、电气工业、新材料工业、IC芯片测试、电路板、元器件测试等领域。